场发射电镜采用了肖特基场发射电子(SFE)源。其特点是：探针电流大，容易进行BSE、EDS、WDS、EBSD、CL等分析。电子束噪声较小，场发射电镜加速电压0.1-30kV，且在0.1kV的加速电压下仍有较高的分辨率。随着电子束能量的降低，像差也随着降低。从而在降至100V时，也有水平的分辨率，在30KV时具有高分辨率。高的电子束能量再加上电子束路径上不存在交叉，降低了电子束电子之间的静电库伦作用，避免了由此而引起的亮度降低以及显微镜的分辨率的限制。尤其是需要低电子束能量时，...

应用各种矿物学原理与方法，通过矿物的光、电、声、热、磁、重、硬度、气味等以及其主要的化学成分特征，对岩石、矿物样品、包括光(薄)片、砂片、碎屑、粉末进行观察、鉴定以区别其矿物类别，以及研究岩石、矿石的主要矿物组成、矿物成生序列，结构、构造、岩(矿)石类型的技术方法，称为岩矿分析(鉴定)。岩矿分析系统现今已经可以准确地确定矿物微区化学成分、内部结构、晶系，晶胞参数等，对矿物表面进行的精细扫描，已可精密测量矿物表面元素组成、价态、表面形貌，并绘出矿物的三维图像(地球科学辞典)。地...

SEM扫描电镜是利用细聚焦电子束在样品表面逐点扫描，与样品相互作用产生各种物理信号，这些信号经检测器接收、放大并转换成调制信号，在荧光屏上显示反映样品表面各种特征的图像。扫描电镜具有景深大、图像立体感强、放大倍数范围大、连续可调、分辨率高、样品室空间大且样品制备简单等特点，是进行样品表面研究的有效分析工具。通过本实验学习，了解扫描电镜基本机构，掌握扫描电镜的基本使用方法和使用过程中的注意事项。SEM扫描电镜图像衬度观察：1．样品制备扫描电镜的优点之一是样品制备简单，对于新鲜的...

台式扫描电镜体积小、重量轻、寿命长、功率损耗小、机械性能好，因而适用的范围广。然而半导体器件的性能和稳定性在很大程度上受它表面的微观状态的影响。一般在半导体器件试制和生产过程巾包括了切割、研磨、抛光以及各种化学试剂处理等一系列工作，会造成表面的结构发生惊人的变化，所以几乎每一个步骤都需要对扩散进行检测，深度进行测茧或者直接看到扩散区的实际分布情况，而生产大型集成电路就更是如此。目前，台式扫电镜在半导体中的应用已经深入到许多方面。台式扫描电镜利用柬感应电流（EBIC）像和吸收电...

超高压XRD分析手段有2种，分单晶X射线衍射法，多晶X射线衍射法。对应地，所用的XRD设备，也分为单晶衍射仪和多晶衍射仪。物相，简称为相，它是有某种晶体结构并能用化学式表征其化学成分（或有一定的成分范围）的固体物质。化学成分不同的是不同的物相，化学成分相同而内部结构不同的，也是不同的物相。例如，同样是铁，它能以晶体结构为体心立方结构的Fe、也能以面心立方结构的Fe、还能以体心立方结构的高温Fe，这3种物相形式存在。X射线的性质：1）物理作用，使某些物质发出荧光一可见光，用于荧...

当一束单色X射线照射到晶体上时，晶体中原子周围的电子受X射线周期变化的电场作用而振动，从而使每个电子都变为发射球面电磁波的次生波源。所发射球面波的频率与入射的X射线相一致。基于晶体结构的周期性，晶体中各个原子（原子上的电子）的散射波可相互干涉而叠加，称之为相干散射或衍射。X射线在晶体中的衍射现象，实质上是大量原子散射波相互干涉的结果。每种晶体所产生的衍射花样都反映出晶体内部的原子分布规律。X射线衍射仪XRD主要部件包括4部分：（1）高稳定度X射线源提供测量所需的X射线，改变X...

日本电子电镜可对各种材料的物质表面形貌进行观察，特别适用于不便进行破坏性处理的块状样品；配合能谱仪可以对各种元素进行定性、定量分析；配合电子背散射衍射系统可进行织构、晶体取向等分析。广泛应用于金属材料、无机材料、高分子材料、催化剂、润滑材料、地质矿物、金属、沙漠、生物医学等方面。电子显微镜是以电子束作光源、电磁场作透镜、具有高分辨率和放大倍率的显微镜。电镜通过收集、整理和分析电子与样品相互作用产生的各种信息而获得物体的形貌和结构等。电镜的类型也是利用电子信号的不同和成像的不同...