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普通扫描电镜(SEM)是一种能够观察物质成分的高性能显微镜

更新时间:2023-05-05      点击次数:469
  普通扫描电镜(SEM)是一种能够观察物质表面形貌、结构和成分的高性能显微镜。它采用高能电子束与样品表面相互作用,通过探针控制和信号放大器对来自样品不同区域的电子反射、散射、辐射等信号进行分析处理,从而获得高分辨率的图像。其原理主要包括两个方面:高能电子束和信号检测系统。
 
  高能电子束是SEM的核心部件,它由电子枪、聚焦系统、透镜和样品台组成。电子束从电子枪发射出,经过聚焦系统和透镜聚焦成小的电子束照射到样品表面上。由于电子束能量很高,当它与样品表面相互作用时,可产生多种电子信号,如初级电子、次级电子、后向散射电子和X射线等。此外,电子束的能量还可引发样品内部电子跃迁和原子核激发,从而发射出特定的X射线光谱。通过调节电子束能量、聚焦和透镜位置等参数,可以调整SEM的工作状态,获得不同的信号反馈。
 
  信号检测系统则是SEM获取图像的关键。它主要由电子探测器、信号放大器和数字转换器组成。电子探测器是信号检测系统中基本的部分,它可以收集不同区域的电子信号,并将这些信号转化为电流信号。信号放大器负责放大电子信号,使其能够被数字转换器识别和处理。数字转换器将电信号转化为数字信号,进行处理和重建,生成高清晰度的图像。
 
  普通扫描电镜的使用步骤:
 
  1.打开设备,预热电镜,确保其处于正常工作状态;
 
  2.调整样品,粘贴到样品支架上或使用夹子绑定;
 
  3.调整样品支架角度,使其面对电镜主轴;
 
  4.安装/调整样品支架高度以获得合适的视野;
 
  5.调整电子微控器和显微镜镜头以获得对焦和对比;
 
  6.调整电子束照射条件,包括电子束能量和开启增强模式等;
 
  7.开始扫描并获取图像,检查图像质量是否满足需求;
 
  8.保存图像或使用图像处理软件进行后续分析。
 

普通扫描电镜

 

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