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SEM扫描电镜在质检中的应用概述

点击次数:162 发布时间:2021-05-14
   目前主流的SEM扫描电镜镜筒是电子枪室和由6-8级成像透镜以及观察室等组成。阴极灯丝在灯丝加热电流作用下发射电子束,该电子束在阳极加速高压的加速下向下高速运动,经过一聚光镜和第二聚光镜的会聚作用使电子束聚焦在样品上,透过样品的电子束再经过物镜、一中间镜、第二中间镜和投影镜四级放大后在荧光屏上成像。电镜总的放大倍数是这四级放大透镜的放大倍数的乘积,因此透射电镜有着更高的放大范围(200×-1500000×)。
  SEM扫描电镜的设计思想和工作原理早在1935年便已被提出来了。1942年,英国首先制成一台实验室用的扫描电镜,但由于成像的分辨率很差,照相时间太长,所以实用价值不大。经过各国科学工作者的努力,尤其是随着电子工业技术水平的不断发展,到1956年开始生产商品扫描电镜。数十年来,扫描电镜已广泛地应用在生物学、医学、冶金学等学科的领域中,促进了各有关学科的发展。
  扫描电镜在质检工作中一直起着非常重要的作用,广泛应用于金属材料、无机非金属材料以及高分子材料的微观形貌分析检测等工作中。由干传统的高真空扫描电镜难干直接观察检测不导电样品,而对非导电样品进行喷金成者喷碳处理后虽然可以用传统的扫描电镜进行检测,但是这使得检测过程费时费力,而且对于样品的微观形貌会造成影响和干扰,在用扫描电镜的能谱仪配件进行样品的成分检测时也会影响到检测结果,对于含水样品及不适合喷金处理的半导体样品,传统的扫描电镜则不适合进行检测工作。因此,传统的高真空扫描电镜在质检工作中有很大的局限性。SEM扫描电镜的发展极大的扩展了扫描电镜在质检中的应用,而且极大的节省了样品的处理时间与样品的检测时间,并且降低了检测结果的各种干扰因素,使得检测结果更准确。
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