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扫描电镜得出图像的缺陷解决思路分析

点击次数:203 发布时间:2021-04-09
   扫描电镜是兼顾冷场的高分辨率和热场大束流为一体的热场发射扫描电镜,它几乎集成了当今扫描电镜的前沿技术,大电流在保证高分辨率的同时,得到高速样品分析结果,空间分辨率极高,对导电性差的样品也有很多解决办法。自动化程度高,操作直观方便,可以称得上是一款难得的场发射扫描电镜。
  扫描电镜的样品表面凹凸变化大的边缘区域,二次电子散射区域与样品表面接近的面积增大,结果使边缘区域二次电子发射异常地增加。在图像中这些区域特别亮,造成不自然地反差,称为“边缘效应”。
  这虽然并非由于操作引起地图像缺陷,但可通过适当地操作尽量减少。主要的方法是降低加速电压,可使边缘效应相对减轻,由于断口表面高低不平,边缘区域由于二次电子发射异常增加导致样品边缘异常增亮,无法显示出样品细节;边缘效应明显减轻,但未能完全消除。
  荷电效应、损伤、边缘效应为扫描电镜图像常见的图像缺陷,这些缺陷一些是人为因素产生,一些则是由于扫描电镜成像原理而不可避免产生,但我们都能通过一定的方法,如导电法、降低电压法、快速观测法等等而消除或减少图像缺陷的产生。
  实际操作中,对于不同的图像缺陷,要灵活采用各种不同的方法,反复实验,并总结、分析各种方法的优劣,才能拍摄出更好、更真实的图片。
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