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高速分析热场发射电镜

高速分析热场发射电镜

更新时间:2020-08-13

产品型号:JSM-7200F

产品特点:JSM-7200F高速分析热场发射电镜是日本电子株式会社(JEOL Ltd.)于2015年推出的一款多功能、简单易用的分析型场发射扫描电镜,这款高分辨率扫描电镜是进行样品纳米级图像显微分析与微区化学成分分析的理想选择。通过醉佳光阑角控制透镜技术,JSM-7200F可以在任意加速电压下实现小束斑尺寸的大分析束流进而可以轻松实现100nm以内的高空间分辨率分析。

产品详情

JSM-7200F高速分析热场发射电镜产品介绍:

JSM-7200F是日本电子株式会社(JEOL Ltd.)于2015年推出的一款多功能、简单易用的分析型场发射扫描电镜,这款高分辨率扫描电镜是进行样品纳米级图像显微分析与微区化学成分分析的理想选择。

    通过光阑角控制透镜技术,JSM-7200F可以在任意加速电压下实现小束斑尺寸的大分析束流进而可以轻松实现100nm以内的高空间分辨率分析。

    JSM-7200F/LV配有大样品仓,非常适合于搭载的能谱仪、波谱仪、EBSD相机、CL阴极发光探测器、拉伸台、EBL以及SXES(JEOLzhuan利技术,通过探测低能量的波长从而获得样品的化学价态信息)等分析探测器。同时,JSM-7200F具有抽屉式样品仓可以安装诸如加热、拉伸以及冷冻样品台进行原位分析。

JSM-7200F高速分析热场发射电镜特点:

浸没式肖特基电子枪

    浸没式肖特基场发射电子枪为日本电子的zhuan利技术,通过对电子枪和低像差聚光镜进行优化,能有效利用从电子枪中发射的电子,即使电子束流很大也能获得很细的束斑。因而可以实现高通量分析(EDS、WDS面分析、EBSD分析等)。

 

TTLS(through-the-lens系统)

    TTLS(through-the-lens系统)是利用GB(Gentle Beam 模式)在低加速电压下能进行高分辨率观察和信号选择的系统。 利用GB(Gentle Beam 模式)通过给样品加以偏压,对入射电子有减速、对样品中发射出的电子有加速作用,即使在低加速电压(入射电压)下,也能获得信噪比良好的高分辨率图像。 
此外,利用安装在TTLS的能量过滤器过滤电压,可以调节二次电子的检测量。这样在极低加速电压的条件下,用高位检测器(UED)就可以只获取来自样品浅表面的大角度背散射电子。因过滤电压用UED没有检测出的低能量电子,可以用高位二次电子检测器(USD,选配件)检测出来,因此JSM-7200F能同时获取二次电子像和背散射电子像。

 

混合式物镜(电磁场叠加)

    JSM-7200F的物镜采用了本公司新开发的混合式透镜。 
这种混合式透镜是组合了磁透镜和静电透镜的电磁场叠加型物镜,比传统的out-lens像差小,能获得更高的空间分辨率。 JSM-7200F仍然保持了out-lens的易用性,所以可以观察和分析磁性材料样品。

 

 JSM-7200F高速分析热场发射扫描电子显微镜规格

  JSM-7200F SM-7200F/LV
分辨率 1.0 nm(20kV),1.6 nm(1kV) 1.0 nm(20kV),1.6 nm(1kV),1.8nm (30kV,  LV )
放大倍率 ×10~×1,000,000(120mm x 90mm photograph size); ×30~×3,000,000(1280 x 960pixels display);
加速电压 0.01kV~30kV
束流 1pA~300nA
自动光阑角zei佳控制透镜ACL 内置
大景深模式 内置
检测器 高位检测器(UED)、低位检测器(LED)
样品台 5轴马达驱动样品台
样品移动范围 X:70mm  Y:50mm  Z:2mm~41mm 倾斜-5~+70°  旋转360°
低真空范围 - 10pa~300pa

 

主要选配件:

  • 可插拔式背散射电子探头(RBED)

  • 高位二次电子探头(USD)

  • 低真空二次电子探头(LV-SED)

  • 能谱仪(EDS)

  • 波谱仪(WDS)

  • 电子背散射衍射系统(EBSD)

  • 阴极荧光系统(CLD)

  • 样品台导航系统(SNS)

  • 电子束曝光系统
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