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M系列光束笔尖阵列光刻系统
更新时间:2019-03-07
产品型号:
产品特点:聚合物笔无掩模光刻纳米制造系统(polymer pen lithography)聚合物笔纳米无掩模光刻制造系统PPL, 使用可达160000笔尖的阵列,采用蘸笔光刻DPN的方式,将待沉积的材料(墨水)浸蘸在笔尖阵列上,笔尖可控的与基底表面接触,从而在基底表面批量成型所需图案,加工纳米微米图案无需光掩膜,且在平方厘米范围内达到200纳米以下的分辨率。
产品详情
产品概述和特点
主要特点
- 高分辨率,可达低于100nm的分辨率;
- 高通量模式,可达160000针尖输出制作结构;
- TERA-FAB M系列可制作厘米级材料尺寸;
- 无需掩模,即时性改变输出机构,可广泛适应软质和硬质材料;
- 软硬件友好,非专业人士可在几小时培训后,熟练使用。
A)一张4英寸的PPL阵列,有1100万支笔尖。
B)阵列内纳米尺度弹性材料*的扫描电子显微照片及内嵌图像;
C)由PPL技术打印的多种蛋白示意图。各针尖阵列蘸上不同的打印墨水(蛋白);
D)荧光光学显微图的结果,PPL合成了多路荧光标记蛋白的图案。
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