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台式扫描电镜的测量过程分为扫描和探测两个步骤

更新时间:2023-12-05      点击次数:386
  台式扫描电镜的测量过程分为两个基本步骤:扫描和探测。在扫描过程中,电子束按照一定的模式在样品表面上进行扫描,扫描线圈在水平和垂直方向上控制电子束的位置。在探测过程中,样品表面与电子束相互作用,产生多种种类的信号。常见的信号包括:次级电子(Secondary Electrons,SE)、散射电子(Back scattered Electrons,BSE)、荧光X射线(X-Ray Fluorescence,XRF)和样品电流等。
 
  次级电子是由电子束与样品表面原子的相互作用所产生的。这些电子在样品表面附近发生几次散射后,离开样品,并被探测器所探测到。次级电子的信号可以用于获得样品的表面形貌信息,因为次级电子的发射与样品表面的几何形貌有关。
 
  散射电子是由电子束与样品表面原子的相互作用所产生的。这些电子经过一定的散射过程后,返回到探测器,并形成散射电子图像。散射电子的信号可以用于获得样品的组成信息,因为散射电子受到样品原子的核电荷和原子序数的影响,从而可以得到元素的分布情况。
 
  荧光X射线是由电子束与样品原子间的相互作用所产生的。当电子束与样品原子相互作用时,被激发的内层电子会跃迁至低能级,释放出X射线。这些X射线可以用于获得样品的元素组成信息和分布情况。
 
  样品电流是由电子束与样品之间的相互作用所产生的。电子束在样品表面上产生电子影响时,会引起电子的发射,从而产生一个电流。这个电流可以用于获得样品的导电性和电子能量分布等信息。
 
  台式扫描电镜常用于以下领域:
 
  1.观察和分析各种材料的微观形貌、表面形貌以及颗粒形态等,可用于制备材料的表征、材料缺陷分析等。
 
  2.对生物样品进行高清晰度成像,观察生物细胞、细胞器、组织结构等微观结构,用于生物学研究、医学研究等领域。
 
  3.具有高分辨率和高增倍倍率的特点,可观察纳米颗粒、纳米结构等微观颗粒的外观和形貌,有助于纳米材料研究等领域。
 
  4.可以用于观察和分析环境污染物、颗粒物等相关样品的形貌和组成,可以帮助了解污染源、污染程度以及环境影响等方面的问题。
 
  5.体积小、使用方便,它可以被广泛应用于学校教学和科普活动中,帮助学生和大众更直观地了解微观世界。
台式扫描电镜

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