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使用台式电镜SEM的基本步骤

更新时间:2023-11-03      点击次数:359
  现代科学技术的发展使得我们对微观世界有了更深入的认识。在诸多现代科学仪器中,台式电镜SEM(Scanning Electron Microscope)无疑是一种非常重要的仪器。它以其出色的分辨率和广阔的应用领域受到了广泛的关注和应用。
 
  电子束的发射和聚焦:SEM使用热阴极电子枪产生电子束,并通过磁场的引导将电子束聚焦到样品表面。聚焦后的电子束精细、高能量,能够在样品表面产生丰富的信号。
 
  信号的收集和检测:SEM通过电子和样品之间的相互作用产生多种信号,主要包括二次电子、反射电子、X射线等。这些信号经过收集和检测后,通过电子光学系统转化为图像。
 
  图像的显示和分析:SEM的图像显示方式有两种,一种是实时观察,另一种是图像捕获和保存。图像的分析可以通过直接观察,也可以使用计算机进行图像处理和分析。
 
  使用台式电镜SEM的基本步骤如下:
 
  1.准备样品:选择需要观察的样品,并将其固定在样品支架上。样品应该具有较好的导电性能,在必要时可以进行镀金等导电处理。
 
  2.真空处理:将样品支架放入电子枪的样品舱内,并通过真空泵将空气抽出,以确保在观察过程中不会有气体干扰。
 
  3.配置参数:根据样品的特点和观察需求,设置合适的加速电压、放大倍数、工作距离等参数。一般来说,加速电压越高,分辨率越高,但也容易导致样品受到较强的电子束辐射。
 
  4.对焦:通过调节物镜和样品之间的距离,使得电子束能够在样品表面形成清晰的像。
 
  5.观察和拍摄:将样品移动到观察区域,通过显微镜目镜观察样品表面的细节,并使用CCD相机等设备拍摄图像。
 
  6.样品移动和调整:如果需要观察样品的其他区域或者调整焦距等参数,可以通过微动装置和控制器进行样品移动和调整。
 
  7.结束操作:观察完成后,关闭加速电压,排气并恢复到大气压。注意将样品取出,并关闭。
台式电镜SEM

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