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台式扫描电子显微镜的维护保养方法

更新时间:2023-09-11      点击次数:395
  台式扫描电子显微镜的原理如下:
 
  1.电子源:电子源通常采用热阴极,即将钨丝加热到高温,使其发射电子,并通过加速电场使电子获得足够的能量。
 
  2.电子光学系统:电子束从电子源发出后,通过一系列的透镜系统进行聚焦和光学修正,使电子束聚焦在样品表面上。透镜系统由透镜和准直器组成,能够控制电子束的聚焦和扫描范围。
 
  3.样品台:样品台是样品放置的平台,样品放置在样品台上,通过样品台的移动和调整,使样品处于最佳观察位置。样品台还可以通过电动装置旋转、倾斜或移动,以观察不同角度或不同位置的样品表面。
 
  4.扫描线圈:扫描线圈负责控制电子束的扫描方式,使电子束在样品表面按照预定的方式进行扫描。扫描线圈负责调节扫描速度和扫描范围,从而实现对样品表面的全面观察。
 
  5.信号检测系统:当电子束照射到样品表面时,样品会产生多种信号,包括二次电子信号、反射电子信号和散射电子信号等。信号检测系统对这些信号进行收集和分析,然后将其转化为电信号,经过放大和处理后送入显示器进行图像显示。
 
  6.显示器:显示器是将信号检测系统产生的电信号转换为图像的设备,在显示器上可以清晰地观察到样品表面的微观形貌和结构。
  台式扫描电子显微镜
  台式扫描电子显微镜的维护保养方法:
 
  1.定期清洁样品台和电子镜扫描室,避免灰尘或其他碎屑对电子束的影响。
 
  2.使用干净的画笔等工具清理样品台和样品表面。
 
  3.常规检查各部位的连接,确保电子显微镜的稳定性。
 
  4.定期对电子枪进行清洗和烧结,以保持其性能。
 
  5.定期校准电子显微镜,确保其精度和准确性。
 
  6.避免过度使用电子显微镜,尽量减少电子束的伤害,延长设备寿命。

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