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台式扫描电镜的工作原理和优点

发布时间:2022-12-06      点击次数:99
  台式扫描电镜(Desktop Scanning Electron Microscope, Desktop SEM)相较于传统大型SEM,台式扫描电镜具有体积小巧、操作简便、价格便宜、快速抽真空、不用喷金测量不导电样品等优势,而且它的放大倍数可高达130,000倍。此类新型仪器的出现填补了光学显微镜与传统大型扫描电子显微镜之间的空白区域,可广泛应用于材料科学、纳米颗粒、生物医学、食品药品、纺织纤维、地质科学等诸多领域。
 
  台式扫描电镜的工作原理和优点:
 
  成像系统和电子束系统均内置在真空柱中,真空柱底端即为右图所示的密封室,用于放置样品。之所以要用真空,主要基于以下两点原因:电子束系统中的灯丝在普通大气中会迅速氧化而失效,所以除了在使用SEM时需要用真空以外,平时还需要以纯氮气或惰性气体充满整个真空柱。为了增大电子的平均自由程,从而使得用于成像的电子更多。
 
  不仅可在真空下,还可在大气压下进行观察,含水样品也无需前处理即可直接观察,是目前市面上一款大气压模式下观测的扫描电镜,免去了了生物,食品,化妆品等样品复杂的前处理过程,同时还能观察样品的原始形貌。台式扫描电镜在成分分析方面主要有EDS能谱丶WDS波谱两种侦测器可以搭配,能谱分析速度较快,元素检测极限约1000~2000ppm。
 
  波谱分析速度较慢,但元素侦测极限较好,约在10~100ppm,成分分析分析方法上面有三种模式可以选择,奈米范围内微小区域成分分析,可以帮助使用者做特定区域的分析,可以观察扫描线段区域的成分变化。

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