钨灯丝电镜成像所用的物理信号是电子束轰击固体样品而激发产生的。具有一定能量的电子,当其入射固体样品时,将与样品内原子核和核外电子发生弹性和非单生散射过程,激发固体样品产生多种物理信号,如二次电子、背散射电子、吸收电子、X射线、俄歇电子等。
SEM中的三种主要信号:
背散射电子:入射电子在样品中经散射后再从上表面射出来的电子。反映样品表面不同取向、不同平均原子量的区域差别。
二次电子:由样品中原子外壳层释放出来,在扫描电子显微术中反映样品上表面的形貌特征。
x射线:入射电子在样品原子激发内层电子后外层电子跃迁至内层时发出的光子。
其他信号:
俄歇电子:入射电子在样品原子激发内层电子后外层电子跃迁至内层时,多余能量转移给外层电子,使外层电子挣脱原子核的束缚,成为俄歇电子。
透射电子:电子穿透样品的部分。这些电子携带着被样品吸收、衍射的信息,用于透射电镜的明场像和透射扫描电镜的扫描图像,以揭示样品内部微观结构的形貌特征。
钨灯丝电镜的优点:
·高的分辨率。由于超高真空技术的发展,场发射电子枪的应用得到普及,现代先进的扫描电镜的分辨率已经达到1纳米左右。
·有较高的放大倍数,20-20万倍之间连续可调。
·有很大的景深,视野大,成像富有立体感,可直接观察各种试样凹凸不平表面的细微结构。
·试样制备简单。
·可直接观察大块试样。
·适用于固体材料样品表面和界面分析。
·适合于观察比较粗糙的表面:材料断口和显微组织三维形态。