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台式扫描电镜的低真空应用概述

点击次数:350 发布时间:2021-03-12
   台式扫描电镜在观察照射物体的细电子束扫描时,观察的三维结构的表面(形状)。一般来说,用扫描电镜是一个单向观察图像,使图像是相同的图像平面与单眼观察。为了得到一个三维图像,该方法是通过倾斜的载体,从不同的角度分别获得同等的右眼和左眼观察观察静止图像(视差图像)和合成,所以戴上红蓝眼镜。但这种方法需要时间,也需要调整视差图像,所以它不能实时观察样品的扫描电镜图像。
  这时发达的边缘交换机照射试样的电子束角和高速扫描技术,成功实现了左右视差图像瞬时访问。具体做法使用电磁透镜的会聚作用,使电子束倾斜。然而,连接器电子束倾斜伴随像差会导致较低的分辨率。这一任务发展致力于发展电子光学系统和光束扫描控制技术以及使用的技术部分。
  台式电镜在失效分析中,除了金属样品外,还有很多非金属样品,这些样品导电性很差。要分析这些非导电样品,样品的充电是不可避免的。由于电子束打到样品上使样品带电,其产生的电场影响了二次电子的产生和接收,使图像上呈现一片片亮的或暗的区域,无法进行正常观察。要对这些非导电样品进行分析,就必须排除样品充电的影响。其方法之一就是将样品上的电荷中和掉。
  台式扫描电镜所采取的措施是:
  使样品室处于低真空状态,样品表面所产生的二次电子与样品室中的气体分子相碰撞,使气体电离,这些气体离子附着于样品表面,将样品上所带的电荷中和掉。使用专门的探测器,接收二次电子与气体分子相碰撞时产生的光子,这些光子也就代表了二次电子信号,使成像不受样品导电性的影响,在分析这些样品时能够得到理想的成像。
  台式扫描电镜对一些含水、含油的样品,可以采用更低的真空度,使水分在该压力、温度下不至于挥发,这样便可观察到真实的生物样品形貌。
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