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关于台式电镜SEM有什么是我们不知道的?

更新时间:2024-10-23      点击次数:146
  台式电镜SEM的维护保养方法主要包括冷却循环水系统、空气压缩机、机械泵、烘烤和机械对中等关键部件的维护。这些保养措施确保了SEM的性能和寿命,并防止了环境因素对其造成的不良影响。
 
  -检查与记录:每月至少检查一次冷却循环水的水位,并及时补充。同时,每半年更换一次过滤网,并清洗冷却水。
 
  -紧急处理:在发现泄漏或水位下降过快时,应立即停止使用SEM,并联系专业技术人员进行维修。
 
  -排水与清洁:每半个月至少进行一次内部排水,以确保空气压缩机的正常运行。
 
  -油雾收集器:当油雾收集器附着油液或有油烟时,需要立即停机更换油泵,并更换油。
 
  -油雾收集器:机械泵的油雾收集器需每半年更换一次,当油变为茶色时,应立即更换机油。
 
  -定期检查与维护:定期检查机械泵的运行状态,确保其无异常噪音或振动。
 
  台式电镜SEM的工作原理:
 
  电磁透镜用于聚焦电子束。通过特定设计的电极之间形成等势面曲线,可以对电子束进行精确聚焦,使其达到纳米级别的束斑直径。
 
  扫描系统控制电子束在样品表面的逐行扫描,确保每个像素点都被覆盖。为了消除像散现象(即电子束在透镜磁场中偏离设计轨迹),需要使用消像散器。消像散器通过调整磁场,使不同路径上的电子束重新会聚到一点,从而提高图像质量。
 
  探测器收集电子与样品相互作用后产生的信号。常见的探测器包括闪烁体加光电倍增管、半导体探测器等。信号经放大器放大后输入显示器,形成图像。
 
  -清洁与保养:定期清洁样品台以及探针,确保SEM获得清晰、准确的图像。
 
  -检查与更换:检查样品台表面是否有残留物或污垢积聚,如有需要及时清理。同时,定期检查探针的工作状态,如有损坏或老化应及时更换。
 
  -温度与湿度:实验室环境温度应长期维持在20~24°C之间,湿度保持在50%以下。这有助于防止设备受潮、腐蚀或其他不良影响。
 
  -室内清洁:保持室内清洁卫生,严禁在室内喝水、饮食,以避免污染和损害设备。
台式电镜SEM

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