台式扫描电子显微镜主要由电子光学系统、信号收集处理系统、真空系统、图像处理显示和记录系统、样品室样品台、电源系统和计算机控制系统等组成。利用电子和物质的相互作用,图像为立体形象,次级电子由探测体收集,并在那里被闪烁器转变为光信号,重金属在电子束的轰击下发出次级电子信号,其中包括弹性背反射电子和非弹性背反射电子。
具有超高分辨率,能做各种固态样品表面形貌的二次电子像、反射电子象观察及图像处理,利用二次电子成像原理,在镀膜或不镀膜的基础上,低电压下通过在纳米尺度上观察生物样品如组织、细胞、微生物以及生物大分子等,获得立体感强的样品表面超微形貌结构信息,具有高性能x射线能谱仪,能同时进行样品表层的微区点线面元素的定性、半定量及定量分析,具有形貌、化学组分综合分析能力。
台式扫描电子显微镜的末级透镜上边装有扫描线圈,在它的作用下,电子束在试样表面扫描。高能电子束与样品物质相互作用产生二次电子,背反射电子,X射线等信号。这些信号分别被不同的接收器接收,经放大后用来调制荧光屏的亮度。由于经过扫描线圈上的电流与显像管相应偏转线圈上的电流同步,因此,试样表面任意点发射的信号与显像管荧光屏上相应的亮点一一对应。
也就是说,电子束打到试样上一点时,在荧光屏上就有一亮点与之对应,其亮度与激发后的电子能量成正比。换言之,扫描电镜是采用逐点成像的图像分解法进行的。光点成像的顺序是从左上方开始到右下方,直到图像扫描完毕就算完成一帧图像。