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扫描电镜SEM的主要结构说明

发布时间:2022-07-07      点击次数:283
扫描电子显微镜(SEM) 是一种介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的一种观察手段。其利用聚焦的很窄的高能电子束来扫描样品, 通过光束与物质间的相互作用, 来激发各种物理信息, 对这些信息收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的目的。
 
扫描电镜具有景深大、分辨率高, 成像直观、立体感强、放大倍数范围宽以及待测样品可在三维空间内进行旋转和倾斜等特点。另外具有可测样品种类丰富, 几乎不损伤和污染原始样品以及可同时获得形貌、结构、成分和结晶学信息等优点。
 
扫描电镜的主要结构:
 
电子光学系统:产生高能电子束的镜筒,包括:电子枪、电磁透镜和扫描线圈;
信号探测处理及成像系统:接收并处理各种电子信号,包括扫描信号发生器、探测器、扫描放大器、电子信息处理器和监控器;
图像记录系统:记录电子图像的信息,包括摄像头、图像分析器和记录设备;
真空系统:作为电子束与样品作用载体,包括样品室、真空阀门、机械泵、油扩散泵、离子泵和真空检测装置;
电源供给系统:调控扫描电子显微镜外部环境,包括不间断电源、变压器、稳压器、安全控制线路和独立地线。

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