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普通扫描电镜是一种利用电子进行成像的显微镜

发布时间:2021-12-20      点击次数:528
  普通扫描电镜是一种利用电子进行成像的显微镜,由英文ScanningElectron Microscope直译得名,简称为扫描电镜。由于电子的德布罗意波长远小于可见光的波长,扫描电镜具有比光学显微镜高得多图像分辨率,使我们拥有在亚原子尺度上观察微观世界的能力。
  扫描电镜喷金几乎可以对所有类型的样本进行图像处理,陶瓷、金属、合金、半导体、聚合物、生物样品等。然而,某些特定类型的样品更具有挑战性,并且需要操作者进行额外的样品制备,以便借助扫描电镜喷金收集高质量图片。这些额外的步骤包括在样品中表面溅射一个额外的导电薄层材料,如金、银、铂或铬等。扫描电镜喷金中的电子束具有较高能量,在与样品的相互作用过程中,它以热的形式将部分能量传递给样品。
  普通扫描电镜由三大部分组成:真空系统,电子束系统以及成像系统。
  (1) 真空系统
  真空系统主要包括真空泵和真空柱两部分。真空柱是一个密封的柱形容器,真空泵用来在真空柱内产生真空。成像系统和电子束系统均内置在真空柱中。
  (2) 电子束系统
  电子束系统由电子枪和电磁透镜两部分组成,主要用于产生一束能量分布极窄的、电子能量确定的电子束用以扫描成像。
  (3) 成像系统
  电子经过一系列电磁透镜成束后,打到样品上与样品相互作用,会产生次级电子、背散射电子、俄歇电子以及X射线等一系列信号,然后通过不同的检测器来区分这些信号以获取所需要的信息。
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